半导体设备分类总览

芯片迷不休息 2024-09-12 08:32:48
失效分析 赵工 半导体工程师 2024年09月11日 08:59 北京

(日本大和热磁)直拉单晶炉

(日本Takatori)线切割设备

(中国盛美)晶圆清洗设备

光刻曝光设备/光刻机

ASML光刻机)

(日本东京电子 涂布显影设备)

其他薄膜工艺设备,如外延,电化学沉积等等。

北方华创 PECVD设备)

(北方华创硅刻蚀机)

(离子注入机构造)

(美国亚舍利/Axcelis 高能离子注入机)

(CMP设备工作原理示意图)

(美国应用材料 CMP设备)

愿每一位半导体设备从业者的辛勤付出都能开花结果,愿国产半导体设备产业的未来光明璀璨,早日成为全球半导体设备领域的重要力量!

来源:半导体材料与工艺设备

半导体工程师

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