近日,英特尔表示,ASML的首批两台 High NA EUV光刻机已在其工厂“投入生产”,比早期型号更可靠。
作为目前全球最先进的光刻机,High NA EUV的售价约3.5亿美元(约人民币25.4亿元),可以说是天价!远高于 ASML标准EUV系列的1.8亿~2亿美元。

图源:英特尔
据悉 High NA EUV 光刻机的高度超过一间会议室,长度远超前一代设备,规格特殊且极其精密,预计每小时可曝光超过185片晶圆,支持2nm以下逻辑芯片及相似晶体管密度的存储芯片量产。
一季度内生产30000片晶圆,可以生产数千个计算芯片。
在先进制程芯片制造中导入高数值孔径EUV产品,可简化制程工序、减少光罩数量,达到产能和良率提升,减少制造每片晶圆的能耗。
在初步测试中,ASML的新型High NA EUV设备可靠性大约是上一代的两倍。新的ASML EUV设备使用光束将特征打印到芯片上,也可以使用更少的曝光完成与早期设备相同的工作,从而节省时间和钱。

图源:ASML
英特尔工厂的早期结果表明,High NA EUV设备只需一次曝光和“个位数”的处理步骤就可以完成早期设备需要三次曝光和大约40个处理步骤才能完成的工作。
英特尔计划使用High NA EUV设备来帮助开发Intel 18A(1.8nm)制造技术,该技术计划于今年晚些时候与新一代PC芯片一起量产。
用时利用High NA EUV设备在2026至2027年间实现Intel 14A制程技术的量产,并在此基础上进一步提升制程技术。

图源:英特尔
英特尔花了七年时间才将这些早期设备投入全面生产,由于时间过长才导致慢慢落后于台积电,目前加速High NA EUV设备进行量产,也是英特尔战略转变的一部分。
劈山
投产怎么了又不卖给我们,咱等着看自己的五纳米芯片的消息
劈山 回复 03-03 12:13
有些成品不能让他们生产啊,只能自己生产,所以还要自己的光刻机
余生勿扰 回复 03-04 16:38
咋们不要了自己有
清风
华为研发的量子芯片要是成功了就可以绕开光刻机👌已经成立子公司了研发了!👌
余生勿扰 回复 03-04 16:39
这一块已经绕开了
天外飞尘
无所谓啦!中国的光子芯片今年已经开始量产,要开始换道超车,西方半导体风光不了多少年。
如来神掌 回复 03-04 23:06
用什么设备生产
冰与火之间
从5nm提高到2nm,性能提高的不多,成本却提高了4-5倍,很不划算
ABCD
原来的可靠性是70%,提高两倍就是140%!!! 呵呵???
灌篮高手
英特尔想抢台积电的饭碗吗
冬日暖男 回复 03-05 21:14
这不叫抢,是狗咬狗,中国迟早要绕过光刻机,那时英特尔,台积电,三星投了大量人力物力资源就打水漂了。
昵称 回复 03-03 07:09
是抢回来[笑着哭]
用户10xxx15
听着就生气,谁去把他们的厂子炸了?我奖励十块钱。
杀猪的汉子 回复 03-02 10:59
干嘛要炸?谁去把图纸偷回来我就给钱![得瑟][得瑟]
这西瓜真大 回复 03-01 19:30
[滑稽笑]我特么奖励你100去炸
用户13xxx76
任何电子元器件都是会发热的,这么小怎么可能承受大的热量[笑着哭]绝大多数场景用不上这么小的芯片[笑着哭]
爱你没商量 回复 03-02 13:37
晶圆是什么?还是有限资源。
塔寨村的希望 回复 03-03 09:55
人才,沙子都成了有限资源,你还不去屯上一点?
用户10xxx17
零头给我也发大财了,祝你财源滚滚来,谁有也是为世界未来曾砖填瓦,为人类生存纳福。祝你们早日实现人类长生愿望。
蓝天
早晚得求着咱们买
用户98xxx32
现在美国内外矛盾快要集中爆发了,我们要有所准备看准时机迅速肢解它。
用户98xxx32
打到美国去!解放英特尔。
花君
你们从来不看电视,不看中央电视台吧! 刚播放的一个栏目介绍中国各个行业各种高尖端技术!其中就有光刻机!光存储!
水猪
技术要跟上,现在intel的u系列都是台积电代工,丢脸丢死了
用户86xxx43
关我屁事![得瑟]
余生勿扰
国产的才几十万而已哪有那么贵
用户10xxx82
这和中国有什么关系?
蛟龙
让自嗨吧
杀猪的汉子
我出30亿,卖给我!
西贝老贾
我感觉7nm够用了。[笑着哭]
用户98xxx32
我们一定要想尽一切办法肢解美利坚。
不覊S风
没了中国买家,再好的设备也是自嗨的。
小夺俯云曾经
产品性能能提升多少?
用户20xxx25
中国的不外卖,盖成一栋楼都行
风花雪月
加油中国科学家