金融界2025年2月22日消息，国家知识产权局信息显示，西安和其光电科技股份有限公司申请一项名为“用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器件及方法”的专利，公开号CN119495612A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请公开了一种用于刻蚀机内静电吸盘的多通道光纤荧光测温器件及方法，涉及半导体刻蚀技术领域。该器件包括设置在静电吸盘不同区域的测温传感器，各测温传感器均包括荧光测温头、陶瓷套管、转接光纤、传输光纤、光耦合模块、光电探测模块和工作光源模块；其中，荧光测温头包括堆叠设置的荧光层和导热层，荧光层通过热压烧结法制备且荧光层的端面镀金，导热层包括铜金刚石复合材料，导热层的端面镀金并通过真空回流无空洞焊接工艺连接荧光层的端面，陶瓷套管包覆转接光纤，陶瓷套管的端面镀金并通过真空回流无空洞焊接工艺连接荧光测温头。采用本申请器件，能够有效提高测温精度和拓宽测温范围，同时精确测量半导体晶圆片表面的温度分布。
天眼查资料显示，西安和其光电科技股份有限公司，成立于2011年，位于西安市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本4184.915万人民币，实缴资本2377.2172万人民币。通过天眼查大数据分析，西安和其光电科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目64次，知识产权方面有商标信息35条，专利信息167条，此外企业还拥有行政许可28个。
本文源自：金融界
