富时精工取得PECVD成膜气体总量控制结构专利,便于工作人员拆卸或安装螺纹件

金融界 2025-03-29 15:23:58

金融界2025年3月29日消息,国家知识产权局信息显示,富时精工(南京)有限公司取得一项名为“一种PECVD成膜气体总量控制结构”的专利,授权公告号CN222684759U,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种PECVD成膜气体总量控制结构,包括PECVD装置本体以及进气组件,还包括:底座,其设置于PECVD装置本体上;进气组件的管道上设置有与底座转动配合的连接件,连接件上通过弹性复位件连接有滑块,滑块上设置有锁止杆:底座上开设有凹槽,凹槽上开设有至少两个与锁止杆相配合的卡槽。本实用新型提供的PECVD成膜气体总量控制结构通过连接件与底座的卡接配合辅助拆卸进气阀门和样品管的螺纹件,而在将样品放入样品管内时,先将滑块向上滑动使得锁止杆不再与卡槽卡接,让进气组件与样品管分离将样品取出,该装置通过对进气组件的辅助固定,便于工作人员将样品管与进气组件上的螺纹件进行拆卸或安装,操作方便。

天眼查资料显示,富时精工(南京)有限公司,成立于2020年,位于南京市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币,实缴资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,富时精工(南京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目17次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息26条,此外企业还拥有行政许可11个。

本文源自:金融界

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