金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种喷气结构和等离子体刻蚀机”的专利，公开号CN119833379A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本发明公开了一种喷气结构和等离子体刻蚀机。该喷气结构包括固定管套，能够与气源导通；喷气件，设置于固定管套，喷气件与所述固定管套连接后形成安装空间，且喷气件上设有喷气孔；比例调节件，可动设置于安装空间，比例调节件设有比例调节孔，比例调节孔能够与喷气孔导通，且基于比例调节件的运动，比例调节孔和喷气孔的导通截面面积能够调节。将固定管道与气源导通后，气流能够流进安装空间，由喷气件上的喷气孔将气流喷出，由于比例调节件可动设置于安装空间，基于比例调节件的运动，比例调节孔和喷气孔的导通截面面积能够调节，也就是说，喷气孔的喷气流量能够得到调节，便于在等离子体刻蚀过程中调节进气流量，提升等离子体刻蚀均匀性。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目215次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息422条，此外企业还拥有行政许可14个。
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