“光刻机没有一个国家可以做得到，美国都造不出，中国根本做不到！”“中国永远都造不出光刻机？” 去年，中国物理学教授朱士尧在一次采访中直言：“美国都造不出，中国永远也造不出来！”甚至认为世界上没有一个国家能造出光刻机。 说到光刻机，尤其是极紫外（EUV）光刻机，脑海里浮现的画面不是高大上的科技展厅，就是ASML的那些“巨无霸”设备。别看它外表冷冰冰，其实光刻机就是当代工业界的“万国牌”代表作。 你要说一台EUV光刻机到底有多复杂，ASML官方及行业报告统计显示，光零部件就有10万个，来自全球5000多家供应商。85%的部件得靠国际采购，光这个数字就够让人咋舌。 核心技术像拼图一样，德国蔡司能出亚纳米级精度的反射镜，美国Cymer公司（搞出激光光源，日本、瑞士、英国的精密机械和材料也是不可或缺。 ASML能走到今天，靠的不是“荷兰制造”，而是“全球拼图”。谁家能把光源、光学、机械、控制、材料全都合到一起，才是赢家。 之前传统观念里，“自主研发”就是啥都自己做，但光刻机这行当里，早就不是那么回事了。 现在比拼的是，你能不能在全球技术链里卡住要害，然后把这些天南海北的绝技整合到一台机器里。ASML就是这样，站在巨人肩膀上，把每一块拼图都拢到自己手里，这才成了行业老大。 很多人觉得美国科技最强大，肯定想做啥做啥。可放到EUV光刻机上，美国也只能“望机兴叹”。美国不是没技术，像Cymer公司的EUV光源，当年就是美国人搞出来的。 但2013年这家公司就被ASML以25亿美元收购了。美国也缺乏德国蔡司那种极限光学，其反射镜加工精度达到亚纳米级，而非“北京那么大一块，误差不超过1厘米”的夸张表述。 所以美国自己也造不出EUV整机，这不是打脸，而是现代产业分工的真实写照。美国人现在的策略，就是联合盟友搞“主导权”，不是“全控权”。 他们用联盟、规则、技术封锁来保优势，没打算重复建设一整套供应链，因为那样性价比太低，效率也没有。 其实这背后反映出一个现实，现代顶级科技早已不是一个国家能包圆的。无论你再有钱、再能搞，像光刻机这种超级工程，拼的是全球的集体智慧，是谁能把链条拢得最牢。 美国一边卡着技术门槛，一边又离不开别国的核心部件，这种“你中有我，我中有你”的格局，正是当今高科技产业的缩影。 镜头再拉回中国，朱士尧教授那句话，听着扎心，其实说的也是此前的行业现状。中国这些年在光刻机上投入了不少。 2025年3月国家更是投入430亿美元用于极紫外光刻研发，上海微电子的28纳米浸没式光刻机已进入验证阶段。 中芯国际也开始测试国产DUV机型，此前90纳米机型已实现稳定产出。可和ASML的EUV一比，代际差距还是很明显。 EUV的核心难度，一是13.5纳米极紫外光源，需通过每秒喷出5万滴直径30微米的锡滴，经预脉冲激光拍扁后再用主脉冲高能CO₂激光轰击产生等离子体发光，这技术门槛比登天还难。 二是超高精度的平台和量测系统，稍有差池就是废品。还有一大堆专利卡脖子，全球供应链对中国仍有诸多限制。 再加上像《瓦森纳协定》的各种限制，中国想要短时间内追平，难度可想而知。ASML当年光搞EUV就花了二十多年，投了上百亿欧元，不是靠喊口号能解决的。 就算中国造出来样机，后头还有成本、良率、市场生态这些大山要翻。别人几十年积累出来的客户和产业链，不是你说融进去就能融进去的。 但这事已显现希望，中国人骨子里就有一股“不服气”，在DUV领域，国产193纳米氟化氩光刻机已列入工信部首台（套）目录，支持28纳米芯片量产，覆盖军工、家电等七成以上市场需求，充分证明了啃硬骨头的能力，只要方向对了，长跑精神一贯到底，总能见到曙光。 从全球格局看，光刻机其实就是高科技行业的缩影，没有哪个国家能吃独食。朱士尧教授的观点，既是一种冷静的现实判断，也是当下全球化产业分工的真实写照。 这个领域讲究的是“你中有我，我中有你”，谁也离不开谁。中国的路还很长，只要秉持开放合作的心态，踏实突破关键技术，总有一天会在全球技术链上占据更重要的位置。 科技的路，没有捷径，只有脚踏实地，走好每一步。
