在芯片制造的精密流程中，中国电子特气行业的破局之路 光刻机常被视为技术皇冠上的明珠，然而，支撑这一产业运转的还有另一个关键角色——电子特种气体，它被称为“电子工业的血液”。长期以来，全球超过80%的电子特气市场被美国、法国、日本等少数巨头垄断，中国芯片产业不仅面临高价采购，更处处受制于技术壁垒。 这一局面在2010年前后被彻底改变。位于广东佛山的华特气体，从传统工业气体起步，毅然向高纯电子特气领域发起攻坚。面对光刻气中氪、氖、氙等稀有气体的精密配比挑战，其研发团队耗时数年，将纯度提升至足以匹配芯片制造的严苛标准。历经三年严格测试与认证，华特气体最终成为首家进入阿斯麦光刻机及台积电供应链的中国企业，改写了我国在该领域长期依赖进口的历史。 同步发力的还有苏州的金宏气体与南大光电。金宏气体成功量产纯度达99.99999%的超纯氨，打破面板与LED产业对该材料的进口依赖；南大光电则在剧毒且高难度的砷烷、磷烷等半导体关键气体上实现自主突破，构建起完整知识产权体系。 如今，中国企业在光刻气、蚀刻气等核心领域的国产化率已快速提升至30%至50%，推动全球市场价格回归理性。当乌克兰危机导致全球氖气供应紧张时，中国凭借钢铁产业副产气体提取技术，迅速稳定供应链，并逐步掌握市场话语权。三星、海力士等国际大厂为确保产能与成本，已转向大规模采购中国电子特气。 尽管在3nm以下制程所需的极高端气体及部分包装材料上仍存差距，但中国电子特气产业已形成从提纯技术到全站服务的集群优势。这一突破不仅为中国半导体产业构筑起关键供应链防线，更以自主创新实力，在全球科技博弈中打开了新局面。
