半导体级高纯石英砂认证,有何难?

杨仪粉体 2025-02-07 22:01:03

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近日,石英股份在投资者互动平台表示,半导体级高纯石英砂认证是一个科学、严谨的过程,不同客户在认证过程和时间上有差异。我们获知相关客户对我们半导体级高纯石英砂认证已完成,并有一定量的订单。

石英作为半导体生产的关键环节,贯穿半导体产业链的全过程,从光刻、刻蚀、薄膜沉积到离子注入等环节,都需要用到石英件,不同工艺对石英制品的要求有所不同。

石英材料按照来源分为天然与合成两大类。从石英矿石中去除杂质从而加工为天然石英砂,再经过高温处理加工成为石英材料,形态通常为石英管、棒和锭等形式,最终通过机加工或者火加工,制造为几千种种类不同且形状各异的石英零部件。合成石英则是基于类似于四氯化硅等化合物的原材料,进行去除氯原子、加入氧原子的化学反应,最终得到二氧化硅。合成石英通常用于加工成为光刻环节所使用的光掩膜版。

石英砂提纯是不断去除石英矿中的杂质的过程,更多的去除方法是将固态包裹体进行去除。

石英制品加工是指将石英料按照设计图纸加工为石英环、石英盘、石英坩埚、石英管、石英视窗等石英零部件的过程,主要分为冷加工(机加工)和火加工两种工艺,同时,也需要在千级净化环境去除加工过程中零部件表面产生的颗粒和金属元素。石英部件原厂的设计超过80%的部分属于是非常好的设计,剩余不到20%部分可能需要制品厂商重新设计改进,从而延长产品的使用寿命。

通常用户对零部件的原材料的更换较为谨慎,因为更换材料会带来较大风险。这需要经历两个过程,首先是理论达标,即石英砂杂质含量,例如金属杂质的含量区间,需要与美砂实现对齐,这是理论应用的达标。第二步是上机测试,即在应用场景下进行验证。天然石英砂所含的杂质不仅包括美砂对外公布的指标数据,那些未公布的指标是否产生影响或者产生什么影响,这对晶圆厂和石英材料厂商而言可以称为黑匣子,需要在验证过程中不断了解或者完善这方面的信息。

石英半导体零部件导入客户主要有两种方式,一是通过国外OEM设备厂商的验证后导入到终端客户,另一种则是直接向晶圆厂进行导入。自18年和19年中美贸易摩擦之后,国内正在逐渐建立中国自主可控的半导体产业链,国产石英零部件厂商更多地选择在国内Fab厂进行验证导入,优先服务本土企业。

石英零部件进入Fab厂/设备厂商等终端应用认证门槛较高,首先需要在晶圆厂建立Code,然后是立项,之后进行demo验证,验证完成之后再经过打样、上机验证以及建立料号,再小批量供应,并验厂确保产品稳定供应,最终形成批量订单。只有经过批量供应才可以称之为成熟的产品供应商。整个流程通常需要1年到2年的时间。

其次,不同的晶圆厂对零部件的验证周期都没有标准答案,因为晶圆厂在零部件验证导入过程中对风险承担能力非常脆弱。它对供应商的要求不仅仅是资金层面,更多的是技术积累方面,包括供应商是否具备半导体基因,是否有过半导体产业经验。

资料来源:石英股份、水木梧桐创投,由【粉体技术网】编辑整理,转载请注明出处!

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