为什么老美,能控制远在荷兰的ASML,不给中国光刻机?

笔谈君 2022-12-16 20:19:39

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这两年,在中美贸易战中,光刻机这一词频频出现。它不是印钞机,但却比印钞机还贵,而且即便中国大陆花重金,也求之不来一台最新的光刻机。光刻机,成为了中美科技战中,美国打压中国半导体的手段。有意思的是,光刻机市场份额高度集中,前三企业就占据了90%的市场,分别是荷兰的ASML以及基本的尼康和佳能。

没有一家是美国企业,但美国却能让这些企业老老实实听话。就拿实力最强的ASML来说,从特朗普政府开始,美国就一直游说荷兰政府禁止ASML向中国出售高端的光刻机。于是自2019年以来,荷兰政府就已经限制ASML向中国出口最先进的光刻机。如果不是因为ASML 15%的销售额来自中国,或许我们连上一代的深紫外线光刻机都买不到。也正因为此,中国晶圆体厂商依然可以前进,像中芯国际2021年实现了54.43亿美元的收入,比2020年增加了39%。

其中,以0.15/0.18、55/65纳米落后制程营收最大,分别占28.6%和26.8%。高端市场没机会吃,在低端市场混得好也不错。不过事情是不会如此顺利的。最近美国政府又继续向荷兰政府施压,要求ASML进一步扩大对中国光刻机的禁售范围。简而言之,低端市场也不想给中国大陆,美国针对中国半导体的决心显而易见。大家有没有这样一个疑问,为什么美国能控制这些光刻机企业?这一切要从1997年开始说起。###21997年,全球半导体产业链遇上了一个问题,光刻机光源波长被卡死在193nm,无法生产出更加先进的半导体芯片。为了解决这个问题,美国想到了一个最为朴素的办法——人多力量大,发起了一个名为EUV LLC的联盟。联盟的阵营十分豪华,有英特尔、摩托罗拉、IBM等美国顶尖的科技企业,还有美国能源部以及能源部的三个下属单位:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这三个下属单位来头也很大,研究成果覆盖了半导体、物理、制造业等等各行各业,基本上可以等同于“中科院”,是美国科研实力的象征。这个EUV LLC联盟可以说是大佬云集,有着当时最为顶尖的科研实力,还有国家资金的支持,突破193nm光源波长这事,似乎是板上钉钉。但联盟内还有一个问题,没有光刻机企业。美国光刻机企业SVG、Ultratech在80年代时在与尼康的竞争中陨落,摆在美国面前的光刻机企业为数不多,主要是来自日本的尼康与来自荷兰的ASML。

美国会怎么选择呢?按照今天的美日关系来看,美国大概率会选择尼康,但是彼时的日本是美国在半导体领域最大的竞争对手,甚至一度压制了美国。于是美国选择了ASML,这也让ASML日后成为了全球唯一的高端EUV 光刻机供应商。但是美国怎么会让自己吃亏?选择ASML,有一个前提条件,ASML必须同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有美国本土的产能需求。另外,还保证55%的零部件均从美国供应商处采购,并接受定期审查。

这也是ASML受限于美国的原因。这个手段,在美国制裁华为时我们也见识过,只要是使用了美国科技技术的公司,无论是哪个国家的,和华为的合作都需要美国政府的同意。不过ASML也终于加入到了美国主导的EUV LLC联盟中,背靠着联盟,依托整个西方最为先进的科技,在2015年,ASML 终于发布了可量产的EUV光刻机。顺便一提,英特尔、三星和台积电三家全球最强的芯片制造商也先后投资了ASML,以此获得优先供货权。###3在光刻机上,我们不是没有。像上海微电子,就已经能够生产出90nm的光刻机,满足一些低端需求还是可以的。但也仅仅于此。

90nm的光刻机,到底是什么水平?就这么说吧,2000年英特尔发布的奔腾4处理器刻蚀尺寸为0.09微米(90纳米)。差距可想而知。在高端光刻机上,我们已经受限于人,如今中低端光刻机,也面临着断供的威胁。假若ASML 没有顶住美国的压力,扩大对中国光刻机的禁售范围,对于中国半导体产业来说,无疑是雪上加霜。万幸的是,对于美国的这种无理要求,ASML 已经发出了自己的质疑,对中国限制光刻机出口,这是否合法合理?

不过无论如何,我们都应当做好最坏的打算。在半导体产业链上,面对美国的全面围剿,独立自主已经是我们不得不走的一条路,这条路虽然很难走,但一旦走过,前方将是一片光明。愿中国半导体产业,永远走在光明的道路上。

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评论列表

阿_影

阿_影

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2022-12-28 19:53

说“科技无国界”的那位说来走几步!

笔谈君

笔谈君

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