“一台机器顶得上一座小城市的地皮钱”,这话放在半导体行业可不算夸张。3.5亿美元一台的High NA EUV光刻机,折合人民币25.4亿元,这价格别说买豪车豪宅,就连造芯片的英特尔都直呼“肉疼”。但砸钱归砸钱,效果立竿见影——装上这两台天价设备后,英特尔一季度能造出3万片晶圆,相当于几千块高性能计算芯片的原料,这效率直接让台积电和三星坐不住了。

ASML的High NA EUV光刻机,光是体积就能塞满一间会议室,高度堪比两层楼。这“庞然大物”内部塞满了精密到头发丝万分之一的光学元件,数值孔径(NA)从上一代的0.33飙升到0.55。数值孔径越高,分辨率越强,能直接在硅片上“刻”出8纳米级别的电路图案,比传统EUV光刻机精细70%。更狠的是,它用一次曝光就能完成老设备三次曝光的活儿,步骤从40个砍到个位数,良品率还翻倍。

英特尔高级工程师Steve Carson算过一笔账:用这机器造一片晶圆,光罩数量少了,电费省了,时间压缩了,综合成本反而更低。难怪英特尔宁愿花7年时间调试设备,也要咬牙拿下全球首发的名额。
台积电的“老大哥”地位,悬了?过去十年,英特尔在EUV光刻技术上栽过跟头。当年为了省成本,硬是用DUV设备搞四重曝光,结果10纳米工艺良率崩盘,被台积电5纳米按着打。如今砸钱换设备,算是“痛定思痛”。

High NA EUV一上马,英特尔的18A(1.8纳米)工艺直接提前到2025年量产,14A(1.4纳米)也排上日程。相比之下,台积电的2纳米还没影,嘴上说着“High NA太贵不划算”,背地里却偷偷找ASML订了60台EUV光刻机。三星更尴尬,3纳米良率至今没过关,High NA设备只能当摆设。
半导体行业的新游戏规则一台High NA EUV光刻机=3.5亿美元=25.4亿元人民币=英特尔代工业务70亿美元年亏损的1/20。贵吗?贵!但英特尔赌的是未来——2026年14A工艺量产后,代工业务扭亏为盈,2030年冲进全球代工厂前二。
ASML也没闲着,0.55 NA还没捂热,0.7 NA的研发已经提上日程。按照这速度,2纳米以下的芯片大战,拼的不是技术,而是谁敢往光刻机上砸更多钱。

国内网友总爱问:“咱啥时候能追上?”看看High NA EUV的复杂度——物镜直径1.2米、重360公斤,扫描精度误差不到原子级别,就知道这玩意儿的门槛有多高。ASML敢开价25亿,是因为全球独此一家。
中芯国际当年买EUV被卡脖子,现在转头扎进成熟制程,28纳米产能占到全球1/3。稳住基本盘再图突破,这路子虽然憋屈,但至少不会被“天价设备”拖垮现金流。毕竟,台积电买High NA都要犹豫,何况咱们?

英特尔车间里,两台三层楼高的光刻机正24小时轰鸣。25亿一台的买卖,换来的不仅是3万片晶圆,更是一场豪赌——赌摩尔定律还能续命,赌自己能靠天价设备翻身。至于赢家是谁?2026年自见分晓。