金融界2024年8月14日消息，天眼查知识产权信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法“，公开号CN202410699502.1，申请日期为2024年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，包括经过MCU进行5次数据平均值运算后通过串口把数字量信号传入到主控机中，PCB板卡同时接受4个能量探头传回来的数据，满足所有光路被采集到数据，数据处理模块反馈回来的电压是四个值，根据得到的数据拟合出一条线性的曲线，把得到的曲线设置为出厂设置，与出厂值进行比较，当激光器产生衰减时，同样的功率，照射的能量会衰减，此时反馈回来的电压值，也会降低，做一个对比完成自检，该用于LDI设备的曝光面能量闭环控制方法，解决了现有技术极大地影响了生产效率，不仅会浪费很多的人力，并且影响了生产的时间，造成成本过大的问题。
