金融界2024年8月21日消息，天眼查知识产权信息显示，无锡华瑛微电子技术有限公司取得一项名为“一种小空间腔体晶圆偏移检测装置“，授权公告号CN221573872U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种小空间腔体晶圆偏移检测装置，其特征在于：包括：具有支撑晶圆的第一支撑区的下腔室；具有第二支撑区的上腔室，当所述上腔室与下腔室闭合时，晶圆放置于第一支撑区和第二支撑区之间；所述上腔室与所述下腔室打开时，所述第一支撑区与所述第二支撑区之间具有竖向间距；所述下腔室的外部分别设有至少三个传感器，每个所述传感器的检测端正对放置于所述第一支撑区的晶圆的不同位置处边缘设置。本实用新型适用于小空间腔体的晶圆偏移检测，减小了竖向空间的占用，提高了适用范围，并且减少了调试时间，降低了成本。
