8月16日，中微半导体设备（上海）股份有限公司正式宣布，已向美国法院正式提交诉状，起诉美国国防部将其列入中国军事企业清单（CMC)的决定。
美东时间2024年1月31日，美国国防部根据《2021财年国防授权法》第1260H章节的法定要求，公布了更新版的在美国直接或间接运营的“中国军事公司”（CMC)，更新版中，共有73家中国企业被列1260H清单，其中就包括了中微公司。
自被列入CMC清单以来，中微公司竭尽所能积极地同美国国防部进行沟通、澄清事实，提供了充分的证据证明其不符合CMC清单的认定标准，并要求其将中微公司从CMC清单中移除。然而，遗憾的是，截至正式起诉之日，中微公司仍未如愿。因此，中微公司不得不采取法律途径，请求法院要求美国国防部撤销其错误决定，以消除误解，维护中微公司合法权益。
近年来，中美在高科技领域的竞争愈加激烈，特别是在半导体产业中。中微公司作为中国领先的半导体设备制造商，也引起了美国方面的关注。根据公开资料显示，中微半导体设备，成立于2004年5月31日，总部位于上海，公司专注于为集成电路和泛半导体行业提供高端设备和高质量的服务。公司主要产品包括刻蚀设备、MOCVD设备、薄膜设备、环保设备等。
公司董事长兼首席执行官尹志尧博士，曾在硅谷工作20年，是等离子体刻蚀技术的主要发明人之一 。尹志尧博士于1944年在北京出生，1968年在中国科学技术大学化学物理系毕业，后于1980年前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学，并获得物理化学博士学位。
1984年至1986年，尹志尧就职于英特尔中心技术开发部，担任工艺工程师；1986年至1991年，就职于泛林半导体，历任研发部资深工程师、研发部资深经理；1991年至2004年，就职于应用材料，历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。
在硅谷打拼期间，尹志尧积累了86项美国专利和200多项国际专利。尹志尧主导和参与开发的等离子体刻蚀设备，几乎占到了全世界的一半。尹志尧也成为国际上几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和推动者之一。（刻蚀机是芯片制造过程中的关键设备之一，仅次于光刻机，光刻机将电路图印制在晶圆上之后，就需要刻蚀机对这些电路进行刻蚀。）
2004年，尹志尧选择了回国创业，在上海浦东创建了中微。回国创业之后，尹志尧带领团队从零开始，仅用了3年时间就开发出了原创设计的双反应台介质刻蚀除胶一体机。这也是中国生产出的第一台高端刻蚀设备，效率更比同类产品高出30%以上。
之后，中微半导体发展迅速，自主研发了应用于65nm、45nm到14nm、7nm、5nm等先进工艺节点的一系列等离子体刻蚀设备。2019年，中微半导体自主研发的5纳米刻蚀机，还批量供给了全球最大晶圆厂台积电。此后，中微公司在3nm工艺领域也不断突破。
除了等离子体刻蚀设备，中微开发的大型 MOCVD 设备逐步替代进口设备，成为全球MOCVD设备领域的巨头之一。（有机金属化学气相沉积法（MOCVD，metal-organic chemical vapor deposition），用于在基板上生长半导体薄膜，进而可以制作光电、电子元件等。）此外，中微公司还通过投资布局了第四大设备市场——光学检测设备。
截至2024年6月，中微半导体累计已有5164个反应台在国内外131条生产线实现量产和大规模重复性销售；截至2024年6月，已申请2648项专利，其中发明专利2224项。就在7月，创始人尹志尧博士在以半导体设备突围为主题的节目上公开表示，中微公司主要零部件的自主可控率已达到90%以上，预计到三季度末，可以实现100%自主可控。
今天的中微半导体，无疑已经成为全球领先的半导体设备制造商。这也是中微的底气所在，所以敢于反击。
当然中微公司的反击也是秉承着开发态度，正如创始人尹志尧所说：“制造芯片不是一个国家能独立完成的。设备、材料、零部件等等都不是一家公司、一个国家单凭一己之力就能搞好的。一定要有全球化的分工合作，闭门造车对产业发展都是不现实的，对谁都没好处。”
除了中微公司之外，另一家被列入该清单的企业已成功“打脸”美国国防部。中国激光雷达厂商禾赛科技曾于今年5月，正式起诉了美国国防部，要求将其从所谓名单中移除。7月3日，禾赛科技再次正式向美国法庭递交了一份针对美国国防部的“简易判决动议”。对美国国防部将其纳入1260H清单的理由，逐一进行了反驳。连美国政府律师也表示，根据2021年立法中概述的标准，将禾赛科技列入“黑名单”的理由可能经不起法律审查。
最终在8月13日，英媒《金融时报》报道称，禾赛科技将从美国国防部黑名单中被移除。据多位知情人士透露，五角大楼认为，全球最大的电动汽车激光雷达制造商禾赛科技不符合列入黑名单的法律标准，因此决定将其从中国军方关联企业黑名单中移除。
据悉，虽然被列入该清单并无具体制裁措施，但根据美国媒体解读，相关法案将禁止美国防部未来几年与任何被指定的公司签订合同，同时会对中国公司构成重大声誉风险，还可能给美国财政部施加压力以制裁这些企业，因此被加入名单的多家中国企业均表示了对这一行为的抗议。除了中微、禾赛之外，还有包括长江存储、旷视科技、依图科技等多家中国企业。
成功案例不只禾赛科技。在2021年1月14日，小米公司也曾被拉入美国国防部“涉军黑名单”。随后1月29日，小米对美国国防部和财政部提起了法律诉讼。2021年3月，小米在美国哥伦比亚特区地方法院赢得了这场诉讼，并暂时叫停了相关禁令。2021年5月，彭博社称，根据提交给美国法院的一份文件，美国国防部已经同意，最终下令撤销这一指定“是适当的”。
禾赛、小米的胜利，是中国科技企业的胜利，也是中国科技企业有实力、有信心的表现，他们都以行动进行了回击，并用实力证明了自己。接下来，也期待中微公司能取得胜利！
