12月2日，国产半导体CMP设备龙头“华海清科”被美列入实体清单。最新消息，华海清科拟不超过10亿元通过收购，加码半导体制造关键设备：离子注入机。
12月24日晚间，华海清科发布公告，公司拟使用自有资金不超过10.045亿元，收购公司参股子公司芯嵛半导体（上海）有限公司剩余82%的股权。
本次交易完成后，芯嵛半导体将成为华海清科全资子公司。
华海清科在公告中还表示，本次收购完成后公司将加大此类业务的研发投入，以实现离子注入设备的持续迭代升级和新产品开发。
半导体关键设备，国外厂商长期垄断市场离子注入是半导体器件和集成电路生产的关键工艺之一，在半导体晶圆制造中仅次于光刻。这一步骤通常位于光刻工艺之后，它能够将绝缘体转变为具有导电性的半导体材料。
从设备研发难度上来看，离子注入机也仅次于光刻机。是《国家集成电路产业发展推进纲要》中要求重点发展的三大关键装备（光刻机、刻蚀机、离子注入机）之一，具有极高的技术门槛，属于被“卡脖子”的设备之一。
国内市场方面，离子注入机也是在集成电路前道工艺设备中本土化率最低的环节之一。当下离子注入成为半导体发展的核心且必须国产替代的设备。
当前全球离子注入机主要被美国应用材料、美国亚舍立科技垄断。
根据SEMI的统计，美国应用材料公司占据了全球离子注入机市场约70%的份额，亚舍立科技（Axcelis）占据了全球离子注入机市场约20%的份额，这两家美国企业合计占据了全球离子注入机市场份额的90%以上。
同时日本的Nissin和SEN公司也在市场中占有一席之地，市场整体呈现寡头垄断的态势。
近些年国内涌现出一批以凯世通、中科信（中国电子科技集团旗下）、芯嵛半导体为代表的产品可靠、技术先进的离子注入设备供应商。
比如，凯世通在2022年上半年取得了超过11亿元的订单，并逐步向客户批量交付低能离子注入机，标志着国产离子注入机从0到1的突破。此外，中科信也在某些12寸晶圆产线上获得了工艺验证，显示出一定的技术积累和市场潜力。
芯嵛设备已商业化，且国产化率高此次，华海清科拟收购的芯嵛半导体，是国内少数能实现大束流离子注入设备生产的供应商。
公开资料显示，芯嵛半导体 (曾用名：浙江鑫钰新材料有限公司) ，成立于2018年，主要从事集成电路离子注入机的研发、生产和销售。
根据披露，芯嵛半导体核心技术团队专注于离子注入行业30多年，具有丰富的离子注入行业经验，在长期研发过程中不断积累了产品设计及工艺性能的核心参数，并对设备核心模块离子束流系统的传输路径进行了升级改进，使得芯嵛公司目前的产品较同类竞品的晶圆颗粒污染控制效果、晶圆的装载效率更优，且设备零部件的国产化率更高。现阶段在国内竞争对手中，具备一定的竞争优势。
目前芯嵛半导体实现商业化的主要产品为低能大束流离子注入设备，相关产品已发往客户端验证。
不过，值得注意的是，芯嵛半导体目前尚处于亏损状态，并且预计未来短期内仍将持续亏损。根据公告，2023年全年及2024年前五个月，营业收入约362万元和78万元，净亏损约2442万元和1516万元，而且截至2024年5月31日，其净资产只有约7463万元。
芯嵛半导体于2023年完成A轮融资。同样的华海清科也是在2023年，对芯嵛进行投资，持有本次收购前18%的股权。
芯嵛半导体其余股东除了控股股东，上海凯城半导体（法人CHEN WEI为共同实际控制人）持有的40.6727%、法人CHEN WEI持有的12.6667%股份。其它股东还包括，上海科创、浦东海望，中小海望。上海科创背后是上海国资委。浦东海望背后的出资人有芯片龙头韦尔股份。中小海望背后出资人则是国家中小企业发展基金、上海市商业投资（集团）等共计8方。
经协商确定，芯嵛半导体公司100%股权的整体价格定为12.25亿元，本次拟收购的82%芯嵛公司股权合计交易对价为10.045亿元。交易价格与评估截止日芯嵛公司所有者权益账面值相比的增值率为 1541.43%
华海清科承诺，此次收购后，于2024年度、2025年度、2026年度，营业收入分别不低于0.45 亿元、1.05 亿元、3.4 亿元。2024 年度、2025年度，分别发出并交付不少于4台、8台离子注入设备给终端客户并进入客户设备验证或验收程序。
华海清科收购背后，刚被美列入实体清单公开资料显示，华海清科，成立于2013年，2022年科创板上市，最新市值为405亿元，是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要产品包括CMP设备（Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光）、减薄设备、供液系统、晶圆再生、关键耗材与维保服务等。
华海清科背后的创始人是CMP领域顶级专家、清华大学教授路新春（董事长兼首席科学家），拥有20多年CMP技术的研究经验，是国内CMP技术发展和产业化的重要推动者。
此外，创始团队成员还包括，中国科学院院士、清华大学特聘教授雒建斌；清华机械工程系长聘教授朱煜。除了三位教授之外，研发总监王同庆，技术总监赵德文等主要研发人员也均来自清华大学。
目前华海清科产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺，已基本覆盖国内12英寸集成电路制造商的大生产线。
其中公司CMP装备在逻辑芯片、DRAM存储芯片、3D NAND存储芯片等领域客户端生产线均表现突出，长期连续运行的技术指标和可靠性指标均达到国际同类设备水平，公司凭借自身的技术与产品实力在国内CMP装备领域的市占率稳步提升，并处于领先地位。
华海清科在2024年前三季度的业绩表现稳健，实现营业收入24.52亿元，同比增长33.22%；归属于上市公司股东的净利润为7.21亿元，同比增长27.80%。此外，归属于上市公司股东的扣非净利润为6.15亿元，同比增长33.85%。
今年7月，华海清科第500台12英寸CMP装备出机，并交付国内某先进集成电路制造商，这标志着公司产品质量和可靠性得到客户的高度认可，有望进一步提升市场占有率。
不过，随着美国对中国半导体封锁的持续升级。在当地时间12月2日，美国对华半导体出口管制措施的新规中，增列140家实体。其中，华海清科及公司全资子公司华海清科（北京）科技有限公司、华海清科（上海）半导体有限公司和华海清科（广州）半导体有限公司均被列入实体清单。
当时，华海清科还发布了相关声明称，公司向来高度重视核心零部件的自主研发及国内供应商的培养以实现产品的自主可控，同时与核心供应商建立了密切的合作关系，已经建立了完善、稳定的供应链体系。目前华海清科生产经营及财务情况一切正常，各项业务稳步推进，本次被列入实体清单总体影响可控，不会对公司经营产生实质性影响。
离子注入机作为集成电路制造关键制程设备，长期由部分国际知名厂商垄断。华海清科指出，通过此次收购能较快实现对离子注入核心技术的吸收和转化，跨越式地完成产品和业务板块布局，进一步提升公司核心竞争力。
