JFS Laboratory 湖北九峰山实验室

2024年2月20日，全球首片8寸硅光薄膜铌酸锂光电集成晶圆在九峰山实验室下线。此项成果使用8寸SOI硅光晶圆键合8寸铌酸锂晶圆，单片集成光电收发功能，为目前全球硅基化合物光电集成最先进技术。该项成果可实现超低损耗、超高带宽的高端光芯片规模制造，为目前全球综合性能最优的光电集成芯片。此项成果由九峰山实验室联合重要产业合作伙伴开发，将尽快实现产业商用。

全球领先

在8寸SOI铌酸锂薄膜上实现光电集成

薄膜铌酸锂由于出色的性能在滤波器、光通讯、量子通信、航空航天等领域均发挥着重要作用。但铌酸锂材料脆性大，大尺寸铌酸锂晶圆制备工艺困难，铌酸锂微纳加工制备工艺也一直被视为挑战。目前，业界对薄膜铌酸锂的研发还主要集中在3寸、4寸、6寸晶圆的制备及片上微纳加工工艺上。

图源：网络

一、薄膜铌酸锂逐渐成为光器件重要技术方向

铌酸锂材料广泛应用于光电等领域，薄膜材料成为重要技术方向。铌酸锂晶体具有光电效应多、性能可调控性强、物理化学性能稳定、光透过范围宽等特点，广泛应用于SAW滤波器、光调制器、相位调制器、光隔离器、电光调Q开关等器件中。薄膜铌酸锂材料凭借更高的集成度、更好的性能，逐渐成为其重要技术方向，国内厂商在该领域具备卡位优势。

铌酸锂产业链包括上游铌酸锂晶体及薄膜材料、电子束直写以及DUV光刻机设备，中游体材料/薄膜铌酸锂调制器芯片及器件，以及下游应用等环节，各环节均有国内厂商参与，国内铌酸锂产业链趋于完善。

二、机构称薄膜铌酸锂调制器未来增长具备广阔的市场空间

在全球市场中，德国爱普科斯、日本住友金属矿业、德国 Korth Kristalle是市场份额排名前三的铌酸锂生产企业。与海外发达国家相比，我国铌酸锂晶体行业起步较晚，但发展势头迅猛。我国铌酸锂晶体市场主要参与者包括德清华莹、天通股份、南智芯材等。根据新思界产业研究中心数据，2022年全球铌酸锂晶体市场规模达11.3亿元，同比增长3.1%。

申港证券曹旭特研报认为，薄膜铌酸锂调制器具有大带宽、低功耗、小尺寸等优势，有望成为调制器未来的重要发展方向。光通信、光纤陀螺、超快激光器等领域均存在对薄膜铌酸锂调制器的需求，未来增长具备广阔的市场空间。

三、相关上市公司：光库科技、联特科技

光库科技：公司铌酸锂调制器件主要应用于超高速干线光通信网、超高速数据中心、人工智能、超算中心、海底光通信网、城域核心网、微波光子、测试及科研等领域。在铌酸锂调制器芯片及器件领域，公司掌握了包括芯片设计、芯片制程、封装和测试等核心技术，具备了开发高达800Gbps及以上速率的薄膜铌酸锂调制器芯片和器件的关键能力，是目前在超高速调制器芯片和模块产业化、规模化领先的三家公司之一。

联特科技：公司目前研发的有基于EML（电吸收调制激光器）、SIP（硅光）、TFLN（薄膜铌酸锂）调制技术的800G光模块。

图源：题材库

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