最近,重庆科学城又传来一个好消息,而且内容非常炸裂。
据某知名大V爆料,重庆超瞬态实验装置一期项目正在抓紧建设,计划2024年完工。
这个项目将建设0.5GeV低能强流同步辐射光源和3个超瞬态电子显微集群的建设,为极紫外光刻(EUV光刻)、拓扑量子计算、先进制造等研究提供真空紫外波段的高通量辐射光。
同步辐射光源、EUV光刻……这不禁让我想起了最近在网上非常火爆的“清华大学SSMB-EUV”方案。
众所周知,中国的芯片制造技术一直被米国“卡脖子”,尤其是用于先进制程的EUV光刻机全球仅荷兰ASML能够生产且被限制进口,华为等工厂急需国产替代方案。
其中难度最大的便是光源小型化,中国科学家开始另辟蹊径。
根据公开资料显示,清华大学提出了一个SSMB-EUV方案(稳态微聚束),产生的波长可以覆盖太赫兹到极紫外波段,能够满足各种芯片制程的光源。
这就从原理上打破ASML的技术封锁,功率更是ASML的40来倍,可用于1nm芯片的光刻。
简单的理解,就是这个光源功率大占地也大,可以筛分出不同波长的光源(3nm\7nm\14nm等)供芯片光刻使用。
如果还是难以理解,可以看下面几张图:
不过这个事情网上争议很大,真真假假很难辨别。
随后,山城君在重庆大学超瞬态装置实验室官网上进行了查询,对前面所提到的“超瞬态同步辐射光源”,提到了其主要应用:
本装置主要服务于国民经济主战场中一系列“卡脖子”问题对高通量光源的迫切需求。
(截图官网:http://lutf.cqu.edu.cn/ysy/sy.htm)
到目前为止,国内在高通量光源方面被“卡脖子”的,好像也就只有EUV光源了,换句话说这事还真不是空穴来风。
所谓近水楼台先得月,重庆会不会由此在先进芯片制造方面迎来突破呢?
目前重庆已有华润微和万国半导体两家半导体制造企业,加上在建中三安/意法项目,均集中在功率半导体制造领域,基本都是28nm以上的成熟制程。
而国内唯一拥有先进制程能力的中芯国际,在重庆并没有工厂。
不过从市场需求来看,重庆其实还是大有机会。
先进制程的芯片主要用于手机、电脑、笔记本等领域,重庆在这方面还是大有优势,不仅是传统的笔电制造基地,OPPO、VIVO在重庆也有生产基地。
不过话说回来,现在这个装置只是个“大科学实验装置”,主要用于理论验证工作,离实际的商业化生产线还有不小的距离。
等理论验证完毕,再建设真正的生产线,怎么也都是几年后的事情了。
重庆超瞬态实验室效果图
是不是可以换句口号了,叫利好重庆科学城?